高纯石墨一般指含碳量在99.99%以上的石墨,石墨毡加工,在组织结构上可分为粗颗粒结构、细颗粒结构和超细颗粒结构三类,高纯石墨大量用于直拉单晶硅炉中。集成电路的基础材料主要是硅单晶芯片,目前硅单晶的成长工艺主要采用直拉法,其他方法还有磁场直拉法、区域法以及双坩埚拉晶法,直拉单晶硅炉中的石墨件是消耗品,采用高纯石墨材料加工成直拉单晶硅炉的加热系统。
虽然国际上对各向同性石墨的定义有待于进一步明确,石墨毡生产,一般是测量产品直径方向和长度方向的某些物理性能指标并计算其比值,有的用热膨胀系数的比值表示,简单的是以电阻率的比值表示,其异向比在1.0-1.1范围内称为各向同性产品,超过1.1称为各向---产品。制造各向同性石墨除使用一般石油焦外,还使用改性沥青焦、天然沥青焦、氧化石油焦、不经煅烧的生石油焦、天然石墨等。
半导体的发展与石墨材料在半导体工业中的应用是分不开的。在半导体工业中,直拉单晶炉的加热系统大量采用高纯石墨材料。还在半导体硅片加工(包括区熔、外延、外形加工等)中作为---、部件;在半导体硅片用多晶硅材料的生产中为---、部件。电子工程用石墨制品,鄂州石墨毡,首先是实现在半导体工业中得到应用。进入21世纪,石墨毡厂家生产,光伏产业得到了迅速的发展,太阳能电池用多晶硅锭材料在产量与市场上都出现了突飞猛进的增大,这也给石墨制品在光伏产业领域提供了一个发展前景广阔的新市场。太阳能电池硅片所需要的重要原材料铸锭多晶硅,在其生产装置铸锭炉中开始大量的采用高纯、好的石墨材料。
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