石墨零件-辽宁石墨零件-石金科技有限公司

石墨棒功率的调整方式，辽宁石墨零件，建议通过调整电压的方式来调整功率。石墨棒的调压方式选择可控硅调压或调压器调压。一般不采用通过改变周波数的调功器的方式来调整。

一般情况下，石墨零件加工，石墨棒表面负荷密度是由炉内温度和石墨棒表面温度的关系求得，石墨零件设计，建议使用石墨棒较大表面负荷密度1/2-1/3数值的功率。给石墨棒加的电流量越大，石墨棒的表面温度越高。建议使用尽量小的表面负荷密度（功率）。

石墨舟推舟系统：石墨舟推舟系统采用软着陆的方式，即将石墨舟放到反应管内部后，石墨零件，石墨舟推舟机构将退出，自动门关上。载片舟是经特殊设计，在x轴、y轴、z轴三个方向可微调，再经精加工而成。它直接影响到电场的分布、等离子的产生、气流的走向、膜的品质。成膜压力甚至气体的流量都与此结构有关，所以推舟系统是本设备的---部件。 管式pecvd系统：即使用像扩散炉管一样的石英管作为沉积腔室，使用电阻炉作为加热体，将一个可以放置多片硅片的石墨舟---石英管中进行沉积。