石墨舟推舟系统：石墨舟推舟系统采用软着陆的方式，即将石墨舟放到反应管内部后，石墨舟推舟机构将退出，自动门关上。载片舟是经特殊设计，在x轴、y轴、z轴三个方向可微调，再经精加工而成。它直接影响到电场的分布、等离子的产生、气流的走向、膜的品质。成膜压力甚至气体的流量都与此结构有关，石墨零件哪里有，所以推舟系统是本设备的---部件。 管式pecvd系统：即使用像扩散炉管一样的石英管作为沉积腔室，使用电阻炉作为加热体，将一个可以放置多片硅片的石墨舟---石英管中进行沉积。
真空炉---元器件采用石墨材料来做---管是好的材料选择，首先石墨有---的导电性，同等条件下，石墨的导电性是铜的导电性的3倍，而石墨在高温下，其导电性能不会随着温度的上升而减弱，河北石墨零件，相反还会上升。石墨可以耐到2000多度的高温，而铜只---到800度左右，现在的---材料钨丝也就只---到1100度的高温，石墨零件加工，所以在一些高温炉的---材料的先择中，选用石墨是好的一种---材料。再有石墨具有---的热膨胀系数，真空炉为了提升效率，石墨零件，一般采用液态氮作为冷却剂，一般情况下是在1300度以上的温度下，10分钟冷却到常温，一般的材料在这样的冷热冲击下，都不能够完整的存在，除了石墨。
石墨舟就是石墨模具，可以把我们需要定位或定型的原材料和零部件一起放于石墨模具中高温烧结成型。石墨模具
是选用人造石墨经机械加工而成的。所以石墨模具有时成为石墨舟，也有称为石墨船的。
以156-21片石墨舟为例，检验标准有以下12个要点：
1.舟片厚度要求2.5±0.02mm，表面不应有划痕、擦伤等损伤零件表面的缺点。
2.石墨配件装配面平行度控制在0.2mm，厚度24.5±0.02mm
3.陶瓷管高度11±0.01mm，配面平行度控制在0.01mm
4.陶瓷螺杆、石墨螺杆的直线度---在0.1mm。螺纹部分需用螺纹规检测。
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